業界最小最薄の3軸角速度センサー、寸法は3.6×3.6×0.75mm

[EDN Japan]

　パナソニック エレクトロニックデバイスは2011年10月、外形寸法が3.6×3.6×0.75mmと小さい3軸角速度センサー「EWTSAFMタイプ」を発売した。同社の2軸角速度センサー「WTS9Pシリーズ」に比べて、パッケージの体積を約40％削減しており、「3軸品として業界で最小、最薄だ」（同社）という。スマートフォンやタブレット端末、携帯型ゲーム機といったモバイル機器に向ける。既に、月産100万個規模で量産を開始している。価格は、仕様や購入数量ごとに異なるため、公表していない。

　同社はこれまで、Si（シリコン）材料の音叉形振動子に圧電体であるPZT（チタン酸ジルコン酸鉛）を成膜した「圧電MEMS（Micro-Electro Mechanical System）音叉（おんさ）型」の角速度センサーを製品化してきた。今回発売した3軸角速度センサーでは、新構造の検出素子を採用しつつ、パッケージの内部構造を最適化することで、小型化と薄型化を実現したという。「当社の薄膜形成技術やMEMS加工技術を基に、3軸の角速度を検出する特殊構造を極めて薄いSi基板に作り込む新構造を開発した」（同社）。

　パッケージ内には、検出素子の他に、デジタル信号処理用のASICも組み込まれている。このため、A-D変換器を外付けする必要はない。同ASICは、デジタル出力のインタフェースとしてSPI（Serial Peripheral Interface）とI²Cを搭載している。