産業用途向けの傾斜/振動計、分解能0.001度で価格は14万円：セイコーエプソン 傾斜計/振動計

エプソンが発表した傾斜計/振動計は、機械サーボ方式並みの分解能と安定度を備えつつ、シリコンMEMS並みの小型化を実現した。価格についても、サンプル価格が14万7000円と、機械サーボ方式の50〜70万円に比べて大幅に低価格化している。

[EDN Japan]

　セイコーエプソン（以下、エプソン）は2012年11月、産業分野向けに傾斜計と振動計を発表した。具体的な用途としては、高層建築物や大型構造物の水平/垂直の監視、船舶などの歪みの測定、パイプラインなど大型構造物の保全、地震による振動の計測などを想定している。

　傾斜計/振動計ともに、機器に組み込むタイプの「組み込みユニット」と、CAN（Controller Area Network）インタフェースを実装した「CANユニット」の2品種がある。傾斜計/振動計の主な仕様は下記の通りである。

項目	傾斜計	振動計
測定範囲	360度	±14G
分解能	0.001度	10μG
安定度	<0.05度/年	−

　組み込みユニットとCANユニットの仕様を下記に示す。

項目	組み込みユニット	CANユニット
データ出力	SPI/UART	CAN
サイズ	24×24×19mm	52×52×25mm
重量	約11g	約85g
電源電圧	3.3±0.15V	9〜30V
消費電力	<100mV	−

左が組み込みユニット、右がCANユニット

　傾斜計/振動計には、高精度に計測できるが価格が高い機械サーボ方式を用いた製品と、小型で低価格だが性能面で劣るシリコンMEMS製品がある。機械サーボ方式の製品は、5〜10cm角で価格が50〜70万円の場合もあるという。一方のシリコンMEMS製品は、2万円前後と安価だが、産業分野向けには性能が足りない。今回エプソンが発表した新製品には、独自の水晶加工技術であるQMEMSを用いて新たに開発した水晶加速度センサーを搭載しており、このような技術によって、機械サーボ方式並みの精度と、シリコンMEMS並みの小型化/低価格化を実現したとしている。

　サンプル価格は1個当たり14万7000円。2013年1月よりサンプル出荷を開始し、2013年内には量産を開始する予定である。

傾斜のモニタリング例　傾斜計を用いて2カ月間、傾斜0度（静置状態）を測定した結果を青色のグラフで示している。0度が正確に出力されており、安定度が高いことが分かる。　出典：セイコーエプソン

構造物の振動計測例　高層ビル（29階）の振動を計測した結果を示している。新製品は、長周期振動による0.1〜1Hzの周波数も精密に計測できるという。