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0.9×0.6×0.3mmの32.768kHz MEMS振動子：村田製作所 WMRAGシリーズ
村田製作所は、32.768kHz MEMS振動子「WMRAG」シリーズを発表した。IoT機器やウェアラブル機器などにおいて、小型化、低ESR特性、優れた周波数精度および、低消費電力化を可能にする。
村田製作所は2018年10月、32.768kHz MEMS振動子「WMRAG」シリーズを発表した。IoT（モノのインターネット）機器やウェアラブル機器などにおいて、小型化、低ESR特性、優れた周波数精度および、低消費電力化を可能にする。同年12月より、量産開始予定だ。
世界最小サイズ0.9×0.6×0.3mm
WMRAGシリーズは、独自のMEMS技術を採用。従来比で50％以上小型化し、0.9×0.6×0.3mmのコンパクトサイズとした。
小型ながら、±20ppmの初期周波数精度と160ppm以下の周波数温度特性は、水晶振動子と同等または同等以上を達成している。75kΩと低ESRで、半導体集積回路のゲインを下げることで、安定した基準クロック信号を生成しつつ、従来に比べて13％減の低消費電力を可能にした。
また、基準クロック信号を生成するために6.9pFの静電容量を内蔵し、実装時の大幅なスペース削減と自由な回路設計ができる。
パッケージは、シリコン材料を用いたWL-CSPを採用。同質の半導体集積回路へ内蔵して実装できる。
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