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表面実装型のMEMS角加速度センサー、検知周波数帯域は1kHz以上：村田製作所 表面実装型MEMS角加速度センサー
村田製作所は2015年5月、表面実装型のMEMS角加速度センサー（ジャイロセンサー）を開発した。検知周波数帯域は1kHz以上を保有し、角加速度換算ノイズ実効値は、測定周波数帯域1Hz〜25kHzにおいて1rad/s2rms以下となっている。
村田製作所は2015年5月14日、表面実装型のMEMS角加速度センサー（ジャイロセンサー）を開発したと発表した。同社は「世界初」としている。同社の慣性センサーの設計技術と、MEMSプロセス技術を融合させて可能にしたもので、角加速度検知、回転振動検知などの用途に向ける。
外形5.2×2.5×0.8mm
今回開発された表面実装型MEMS角加速度センサーは、5.2×2.5mm（標準値）×0.8mm（最大値）を可能にした。検知周波数帯域は1kHz以上を保有し、角加速度換算ノイズ実効値は、測定周波数帯域1Hz〜25kHzにおいて1rad/s2rms以下となっている。
同社は現在、この製品について国内外で10件以上の特許を申請している。
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