窒素なしで24時間駆動、先端半導体の故障解析向けカメラ：平均故障時間9万時間

浜松ホトニクスは、先端半導体の故障解析装置向けに、液体窒素が不要で24時間連続駆動する発光解析用カメラを発売し、受注を開始した。リニア冷却方式のSolid Cold冷却を採用している。

[EDN Japan]

　浜松ホトニクスは2026年7月、先端半導体の故障解析装置向けに、液体窒素（LN₂）なしで24時間連続駆動する発光解析用カメラ「Solid Cold Emmi-X カメラ」を発売した。すでに受注を開始していて、価格は1式1億3000万円（税別）だ。1年目に10式、3年目に12式、5年目に15式の販売を目指す。

発光解析用カメラ「Solid Cold Emmi-X カメラ」［クリックで拡大］出所：浜松ホトニクス

　同製品は、リニア冷却方式のSolid Cold冷却を採用。同社発表によると、LN₂冷却システムと比較して、高い安定性と優れたメンテナンス性を備えるという。非接触で24時間の連続駆動が可能で、平均故障時間9万時間の長寿命だ。

Solid Cold冷却の構造イメージ［クリックで拡大］出所：浜松ホトニクス

5秒で波長切り替え可能

　1k×1kセンサーによる広視野観察とノイズ低減を組み合わせたことで、微弱な発光を高感度に検出できる。波長は5秒で切り替え可能。加えて、1軸フィルターかつギアレス構造により位置精度が向上した。

　同社のエミッション顕微鏡「Dual PHEMOS-X」や「iPHEMOS-MPX」に搭載して使用可能。測定例では、7nmロジックプロセスのリング発振器の回路を、レンズ20倍、開口数（NA）0.6、露光時間60秒、電源電圧400mVの条件下で撮像した。

「Solid Cold Emmi-X」カメラを用いて撮像した微弱光［クリックで拡大］出所：浜松ホトニクス

　同社は生成AI向けの先端ロジックや高密度メモリデバイスの解析を用途に想定していて、国内外の半導体メーカーや半導体製造装置メーカーを対象に展開する。