ノイズレベルを0.5Parmsに低減、村田製作所のMEMS気圧センサー：村田製作所 MEMS気圧センサー

村田製作所は、静電容量型のMEMS気圧センサーを開発した。ノイズレベルを0.5Parmsに低減し、高い精度でデータを検出することができる。

[EDN Japan]

　村田製作所は2014年1月、精度が高く、消費電流が小さい静電容量型のMEMS気圧センサーを開発したと発表した。ノイズレベルを0.5Parmsに低減し、高い精度でデータを検出できる。ナビゲーションシステムや人の行動や移動の状態を検知する活動モニタリングシステムに加えて、ヘルスケア機器や気象データ収集システムなどの用途に向ける。

　新製品は、ムラタ・フィンランドが保有する静電容量型MEMS技術を応用して開発した。特に、温度ドリフト性能を向上させ、気圧センサーが温度変化による影響をほとんど受けないように工夫し、検出した気圧データの精度が高い。ノイズレベルは0.5Parmsで、これは高低差5cm相当となる。

静電容量型で消費電力も小さく

静電容量型のMEMS気圧センサーの外観

　MEMS気圧センサーは静電容量型を採用したことで、消費電流も小さくすることができた。例えば、変換時間が1秒で、ノイズレベルが0.5Parmsの場合、消費電流は42μAとなる。変換時間が1/12秒で、ノイズレベル2.1Parmsでは、消費電流は4.1μAである。パッケージの外形寸法は2.3×2.6mm（最大で0.95mm）。