SiC/GaNパワー半導体素子を最大10kVでテスト、ケースレーの高電圧電源：ケースレー 2290シリーズ

「2290」シリーズは、SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）ベースのパワー半導体素子などに対して、最大10kVのブレークダウンテストが可能な高電圧電源である。低電圧計測器や作業者を高電圧から保護するための保護回路モジュールを用意している。また、自動テストシステムの構築を容易にする通信インタフェース機能を標準で搭載した。

[EDN Japan]

　ケースレーインスツルメンツ（以下、ケースレー）は2014年3月、SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）ベースのパワー半導体素子などに対して、最大10kVのブレークダウンテストが可能な高電圧電源「2290」シリーズを発売した。低電圧計測器や作業者を高電圧から保護するための保護回路モジュールを用意している。また、自動テストシステムの構築を容易にする通信インタフェース機能を標準で搭載した。

　2290シリーズは、印加電圧が最大10kVの「2290-10型」と、最大5kVの「2290J-5型」がある。2290-10型は電流容量が最大1mA、最大出力リップルは1V_rms未満である。2290J-5型は電流容量が最大5mAで、最大出力リップルは100mV_rmsである。2290J-5型には選択可能な2種類のフィルタが内蔵されており、最大出力リップルを3mV_rmsまで低減することができるという。いずれも出力電圧測定分解能は1V、出力電流測定分解能は1μAとなる。同社のソースメータ（SMU）を組み合わせると、電流測定分解能を0.1fAまで高めることが可能だ。また、IEEE-488インタフェース機能を標準搭載したのも特長の1つで、高電圧テストを容易に自動化するためのソフトウェアドライバなどが用意されている。

高電圧電源「2290」シリーズの外観

　高電圧のテスト環境で、作業者や測定機器の安全性を確保するために、10kV保護回路モジュール「2290-PM-200型」も発売する。高電圧のテスト回路に低電圧計測器が組み込まれている場合に、被測定物の故障などで電気的に短絡しても、保護回路モジュールを組み合わせておくことによって、測定器などにかかる電圧を最大200Vでクランプすることができる。また、2290シリーズにはインターロック回路が内蔵されており、テストフィクスチャのドアが開いている状態では出力電圧をオフにするなどの安全対策が施されている。

　2290シリーズは、高電圧ブレークダウンテストに加え、高電圧素子/材料のテスト、放射特性/効果の研究、粒子線の研究などの用途に向ける。標準価格（税別）は、2290-10型が59万8000円、2290J-5型が47万5000円、2290-PM-200型が14万7000円である。