「世界最小クラス」2.0×1.9mmの高度気圧センサー：ミツミ電機 MMR933XA

ミツミ電機は、高度気圧センサー「MMR933XA」を2016年より量産開始する。パッケージサイズは2.0×1.9mmと小型で「世界最小クラス」（同社）とし、搭載する機器の実装体積を低減する。

[EDN Japan]

　ミツミ電機は2015年10月、高度気圧センサー「MMR933XA」を発表した。パッケージサイズは2.0×1.9mmと小型で「世界最小クラス」（同社）とし、搭載するデバイス機器の実装体積を低減できる。量産開始は2016年の予定である。

　MMR933XAは、同社従来品「MMR931XA（3.0mm×3.0mm）」の圧力絶対精度、圧力実効分解能などの特性や機能を保持しつつ、独自のパッケージング技術により、実装体積を削減した。

最高2.0Pa（0.17m）の高分解能

　MMR933XAは、同社製のAFE-ICを搭載し、最高2.0Pa（0.17m）の高分解能を備えた。さらに、工場出荷前にセンサーのばらつきと温度特性を補正している。

　動作温度範囲は−30〜＋85℃で、動作圧力範囲は30〜110kPa。圧力実効分解能は17/7/3/2PaRMSで、圧力絶対精度は±200Pa（80〜110kPa、＋5〜＋45℃）、±500Pa（30kPa〜110kPa、＋0〜＋65℃）となっている。

　今後は、高度気圧センサーの防水機能を持ったパッケージを開発し、耐環境パッケージのセンサー製品ラインアップを充実させるとしている。