ニュース
車載、IoT機器用の小型MEMS圧力センサーダイ:TDK C33、C39シリーズ
TDKは、±0.35%の長期精度安定性を備えた小型MEMS圧力センサーダイを発表した。1×1×0.4mmの「C33」シリーズと0.65×0.65×0.24mmの「C39」シリーズの2種で、車載機器やIoT(モノのインターネット)機器、民生機器に適している。
±0.35%(FS)の長期精度安定性
TDKは2017年10月、±0.35%の長期精度安定性を備えた、小型MEMS圧力センサーダイを発表した。1×1×0.4mmの「C33」シリーズと0.65×0.65×0.24mmの「C39」シリーズの2種で、C33は車載機器、C39はIoT(モノのインターネット)機器および民生機器に適している。
C33は車載向け電子部品規格「AEC-Q101」に準拠し、絶対圧力1.2〜10bar用に設計されている。標準動作電圧は3Vで、感度は使用する圧力タイプ別に15〜80mV/bar(5V供給時)。−40〜135℃の温度範囲に対応し、短時間なら140℃での使用も可能だ。
C39は厚さ0.24mmと薄型のため、スマートフォンやウェアラブルデバイスなど、スペースに限りのある機器に向く。絶対圧力1.2bar用に設計され、標準動作電圧は3V。
両シリーズとも、ピエゾ抵抗の原理に基づいてホイートストンブリッジを組み、加えられた圧力をアナログ電圧信号として出力する。
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
関連記事
- パッケージ化したMEMSマイク、S/N比は70dB
インフィニオンテクノロジーズは、4×3×1.2mmサイズにパッケージ化したMEMSマイク「IM70A135」と「IM69D130」を発表した。独自のデュアルバックプレートMEMS技術をベースとし、70dBの低い信号雑音比(S/N比)を可能としている。 - モバイル分光計を可能にする2次元MEMSアレイ
化学組成を検出できる分光計を電池駆動で携帯できる小型サイズで実現するテクノロジーを紹介する。デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)を空間的な光変調器として使うことで、従来の分光法アーキテクチャの欠点を解消し、モバイル分光計を実現する。 - 表面実装型のMEMS角加速度センサー、検知周波数帯域は1kHz以上
村田製作所は2015年5月、表面実装型のMEMS角加速度センサー(ジャイロセンサー)を開発した。検知周波数帯域は1kHz以上を保有し、角加速度換算ノイズ実効値は、測定周波数帯域1Hz〜25kHzにおいて1rad/s2rms以下となっている。 - ±5cmの精度! 低消費電力の小型MEMS気圧センサー
インフィニオン テクノロジーズ(Infineon Technologies)は、モバイル/ウェアラブル製品やIoT機器の用途に対応した小型MEMS(微小電子機械システム)気圧センサーの提供を開始した。±5cmという超高分解能で高さを正確に測定できる。 - 消費電流1.3mAの小型MEMS発振器
マイクロチップ・テクノロジーは、MEMS(微小電子機械システム)発振器「DSC6000」ファミリーを発表した。水晶発振器の500倍の耐衝撃性と5倍の耐振動性を備えている。 - 24ビット分解能で計測する抵抗型圧力センサー・シグナル・コンディショナ
日本TIは、24ビット分解能で圧力、張力、流量、液面レベルなどを計測する、抵抗型圧力センサー・シグナル・コンディショナ「PGA900」を発表した。24ビットA-Dコンバータを2個統合し、高性能の信号収集機能を備えた。