毎時500枚処理可能 200mmウエハー向け枚葉式洗浄装置：SCREEN SS-3200 for 200mm

SCREENセミコンダクターソリューションズは、スクラバ方式を採用した200mmウエハー対応枚葉式洗浄装置「SS-3200 for 200mm」を開発した。2024年12月に販売を開始する。

[EDN Japan]

　SCREENセミコンダクターソリューションズは2024年11月、200mmウエハー対応枚葉式洗浄装置「SS-3200 for 200mm」を開発したと発表した。同年12月に販売を開始する。一般的なデバイスだけでなく、パワーデバイス向け洗浄装置としても適している。

　本製品は、ウエハーを柔らかいブラシと純水で物理的に洗浄するスクラバ方式を採用している。従来品「SS-3200」のウエハー洗浄技術、チャンバー設計、搬送システム、プラットフォームなどを、200mm対応装置として最適化して継承した。

200mmウエハー対応枚葉式洗浄装置「SS-3200 for 200mm」 出所：SCREENセミコンダクターソリューションズ

パワーデバイス向けにも最適

　ウエハー処理能力は、従来品の3倍となる最大毎時500枚のハイスループットを可能にした。装置稼働時において、ウエハー1枚当たりの純水使用量を削減するなど、環境負荷も低減している。

　また、スライドアウト式スピンチャンバーを採用し、メンテナンス性にも優れている。オプションでホットプレートの搭載も可能なため、MEMSなど立体構造のデバイスの乾燥にも利用できる。