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3kV対応のパワー半導体向けウエハーテストシステム：キーサイト 4881HV High Voltage Wafer Test System
キーサイト・テクノロジーは、パワー半導体向けのウエハーテストシステム「4881HV High Voltage Wafer Test System」を発表した。最大3kVまでの高電圧に対応できる。
キーサイト・テクノロジーは2024年10月、パワー半導体向けのウエハーテストシステム「4881HV High Voltage Wafer Test System」を発表した。3kVまでの高電圧と低電圧のパラメトリックテストをワンパス試験で可能にし、パワー半導体メーカーの生産性向上を実現する。
同システムでは、測定ピンを29ピンまで拡張可能。いずれのピンも、サブpA分解能の低電流から最大電圧3kVまで設定できる。高電圧キャパシタンス測定や各種パラメトリックテストにも対応する。
装置の設置面積やテスト時間を削減
単一のテストシステムで高電圧と低電圧の双方に対応するため、装置の設置面積やテスト時間を削減できる。同社のソフトウェア「SPECS-FA」を用いることで、FA（ファクトリーオートメーション）環境とも統合可能。製造プロセス全体を効率化する。
また、高電圧サージ向けの保護回路や機械制御を搭載。半導体製造装置の安全ガイドライン「SEMI S2」にも準拠した。
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