低電力で水銀不使用 ニコン初のUV-LED光源FPD露光装置：フォーカス補正システム採用

ニコンは、UV-LED光源を採用したFPD露光装置「FX-88SL」「FX-88SLD」を発表した。4回のスキャンで、2290×2620mmの第8世代プレートを全面露光できる。

[EDN Japan]

　ニコンは2025年10月、第8世代プレートサイズ対応のフラットパネルディスプレイ（FPD）露光装置「FX-88SL」「FX-88SLD」を発表した。同社のFPD露光装置としては初めて、紫外線LED（UV-LED）光源を採用している。同年11月に受注を開始し、2026年4月の上市を予定する。

FPD露光装置「FX-88SL」のイメージ 出所：ニコン

　両製品は、高精度フォーカス補正システムを採用。プレート全体での線幅均一性を確保した。4回のスキャンで、2290×2620mmの第8世代プレートを全面露光できる。

　重ね合わせ精度は±0.3μmで、同社独自のマルチレンズ構成において各レンズを制御することで、大型プレートに生じやすいひずみを補正している。大型パネル製造における歩留まりの向上が期待される。

高精度露光と環境性能を両立

　FX-88SLは、光源にi線を搭載。解像度は1.5μm L/Sで、プレート1枚あたりのタクトタイムは39秒となる。同社従来機「FX-88S」と比べて17％短縮している。またFX-88SLDは、i線とh線の2波長光源を採用していて、より高照度を要する工程に適する。解像度は2.5μm L/Sだ。

　UV-LEDは消費電力が小さく、水銀も使用しないため、環境負荷の低減に寄与する。同社は今後、UV-LED光源部品のリサイクル体制も整備する。

「FX-88SL」「FX-88SLD」が対応する市場 出所：ニコン