サブナノメートル分解能のウエハー計測システム、Wooptix：独自イメージング技術を採用

Wooptixは、サブナノメートルの分解能でウエハーの形状や幾何特性を測定する計測システム「Phemet」を発表した。単一画像で1秒間に1600万超のデータポイントを取得できる。

[EDN Japan]

　Wooptixは2025年11月、サブナノメートルの分解能でウエハーの形状や幾何特性を測定する計測システム「Phemet」を発表した。

計測システム「Phemet」 出所：Wooptix

　同システムは、単一画像で1秒間に1600万超のデータポイントを取得可能。形状やナノトポグラフィ、反り、歪みなど用途に応じたパラメータを測定できる。量産ラインのインライン計測でのスループット向上に寄与する。

独自の波面位相イメージング技術を採用

　同社独自の波面位相イメージング技術「WFPI」を採用。ウエハーの光分布を解析し、独自アルゴリズムで位相マップを生成することで、ウエハー全体のトポグラフィや反りを高速に可視化できる。解像度は4700×4700ピクセル。3次元NAND型フラッシュメモリや高帯域幅メモリ、バックサイド電源供給ロジックなど、微細加工構造の計測に対応する。

　同社発表によると、すでにTier 1のメモリメーカー、ロジックメーカーで評価が進んでいて、良好な結果が得られたという。近日中に複数の主要顧客への出荷を開始する計画だ。