先端パッケージング向け4.5W紫色半導体レーザー、ヌヴォトン：水銀灯の代替光源など想定

ヌヴォトン テクノロジージャパンは、4.5Wの紫色半導体レーザー「KLC434FL01WW」を量産開始する。h線に近い波長に対応し、先端半導体パッケージでのマスクレス露光用光源などでの用途を見込む。

[EDN Japan]

　ヌヴォトン テクノロジージャパンは2026年4月、4.5Wの紫色（402nm）半導体レーザー「KLC434FL01WW」の量産を同年5月に開始すると発表した。

紫色半導体レーザー「KLC434FL01WW」 出所：ヌヴォトン テクノロジージャパン

　同製品は、直径9.0mmのCAN型パッケージ（TO-9）を採用した光出力4.5Wの紫色半導体レーザーだ。同社発表によると、TO-9 CANパッケージ品では業界最高クラスの光出力（波長402nmの連続発振、ケース温度25℃条件下）だという。同社従来品「KLC432FL01WW」と比べて光出力が1.5倍に向上した。

　同社が同年1月に発表した出力1.0Wの紫外（379nm）半導体レーザー向けの「光電力変換効率を高めるデバイス構造」「熱を効率よく逃がす高放熱パッケージ技術」を、今回紫色帯にも展開した。レーザー端面の劣化要因を抑える独自の保護膜技術を適用し、高出力動作時における寿命性能を高めた。パッケージには高放熱材料を用いた一体成形構造を用い、放熱性も向上させている。

「光電力変換効率を高めるデバイス構造」「熱を効率よく逃がす高放熱パッケージ技術」 出所：ヌヴォトン テクノロジージャパン

先端半導体パッケージ向けで感光材料への対応波長を拡大

　同社は主な用途として、マスクレス露光や樹脂硬化、センシング、マーキング、3Dプリンティング、バイオメディカル、水銀灯の代替光源などを想定している。中でも、先端半導体パッケージ向けのマスクレス露光用光源としての活用を見込む。

　水銀灯の発光輝線のうちh線（405nm）に近い波長のため、h線対応の感光材料向けに使用可能。先行するi線（365nm）対応の379nm半導体レーザーと組み合わせることで、先端半導体パッケージに用いる複数の主要感光材料を同社の製品群でカバーできるという。

半導体レーザーによる水銀灯代替ソリューション 出所：ヌヴォトン テクノロジージャパン

　フォトマスクを用いずに直接描画するマスクレス露光技術は、コスト低減や開発期間短縮に寄与するほか、基板の反りや歪みに応じた描画補正が可能。先端半導体パッケージの回路形成技術として近年注目されている。同技術で用いる半導体レーザーには、水銀灯のi線およびh線に近い波長への対応に加え、生産スループット向上に向けた高出力化が求められていた。