ノイズ測定を統合した1/fノイズ・RTN測定システム：キーサイト A-LFNA

キーサイト・テクノロジーは、ウエハー上のデバイスノイズを測定、モデリングできる、1/fノイズ・RTN測定システム「Advanced Low-Frequency Noise Analyzer」を発表した。

[EDN Japan]

ノイズ感度−183dBV²/Hz

　キーサイト・テクノロジーは2016年8月、ウエハー上のデバイスノイズを測定、モデリングできる機能を備えた、1/fノイズ・RTN（ランダム・テレグラム・ノイズ）測定システム「Advanced Low-Frequency Noise Analyzer（A-LFNA）」を発表した。

　A-LFNAは、新しい1/fノイズ・RTN測定システムと、半導体デバイスの自動ウエハーレベル測定に対応する同社の「WaferPro Express」ソフトウェアを統合。ウエハープローバー制御を自動化しながら、DC特性、キャパシタンス、RF Sパラメータの測定を実行できる。テスト項目に、ノイズの測定、解析機能を追加することも可能だ。

1/fノイズ・RTN測定システム「Advanced Low-Frequency Noise Analyzer」

　また、測定ルーティンを内蔵し、ターンキー操作でDC測定とノイズ測定ができる。例えば、N型のMOSFETのノイズを測定する場合、システムが自動的に最適なソースインピーダンスと負荷インピーダンスを選択し、デバイスノイズを適切に測定するという。

　ノイズ感度は−183dBV²/Hzで、±200Vまでの高電圧や0.03Hzまでの超低周波数までのノイズ測定に対応。同社のMBPやIC-CAPなどのデバイスモデリングツールを使用すれば、デバイスモデル内でノイズデータを解析、表示できるとしている。