抵抗値を20％削減した半導体検査用プローブ：ヨコオ 低抵抗プローブ

ヨコオは、抵抗値を20％削減し、半導体検査時の電圧低下を抑制できる「低抵抗プローブ」を開発した。片可動プローブを採用したほか、ばね荷重を高め、プランジャーの先端形状やばね構造を改善した。

[EDN Japan]

　ヨコオは2022年10月、抵抗値を削減した「低抵抗プローブ」を発表した。半導体検査時の電圧低下を抑制できる。

低抵抗プローブ 出所：ヨコオ

　プランジャーが片側のみ可動する、片可動プローブを採用。片側のプランジャーに加えて、バレルが同時に可動する仕組みとなっている。従来のプローブは、両端のプランジャーが可動する両可動プローブとなっていた。

先端形状やばね構造を改善

　ばね荷重を高めたほか、プランジャーの先端形状やばね構造を改善した。これらの最適化により、従来品と比較して抵抗値を20％低減した。

　半導体では省電力化が進んでおり、既存のプローブでは検査時に電圧低下を引き起こす可能性が存在する。同製品により、電圧低下の抑制が可能となる。また、通常の検査においても、低抵抗値により検査工程を安定化できる。