独自の温度制御技術を搭載 TELの個片化デバイス向けプローバー：ウエハープローバーの技術を継承

東京エレクトロンは、個片化デバイスのテストニーズに対応したデバイスプローバー「Prexa SDP」の販売を開始した。独自開発した高発熱デバイス向け温度制御技術を搭載している。

[EDN Japan]

　東京エレクトロンは2026年4月、個片化デバイスのテストニーズに対応したデバイスプローバー「Prexa SDP」の販売を開始した。同社独自の高発熱デバイス向け温度制御技術を用いている。

デバイスプローバー「Prexa SDP」 出所：東京エレクトロン

　同製品は、高発熱デバイスにも対応可能な吸熱性能を備える。高精度なアクティブサーマル制御が可能なサーマルヘッドを採用。これらにより、確実なデバイス搬送と正確な良品判定のデバイス（KGD）選別が可能になったという。

ウエハープローバの技術を継承

　同社のウエハープローバーが有するコンタクト技術やウエハー搬送システム、プローブカードの針跡検査機能およびグラフィカルユーザーインタフェース（GUI）を継承。先端パッケージ製造に要するテスト品質と装置信頼性を満たすテストソリューションを提供する。

　近年、コンピューティング需要の拡大により、複数のデバイスを組み合わせた2.5D／3Dパッケージング技術の重要性が増している。これらの最終歩留まり向上にあたって、個片化したデバイスでのKGD選別が重要になっているという。