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液体と気体に対応した流量センサーモジュール：IDT FS1012／FS2012
IDTは、液体と気体の両方に対応した、MEMSベースのソリッドステート流量センサーモジュール「FS1012」と「FS2012」を発表した。可動部品や空洞部を覆う隔膜を削除し、SiC（シリコンカーバイド）コーティングによる保護を採用したことで高い耐衝撃性を備えた。
SiCコーティングによる保護を採用
IDTは2017年7月、液体と気体の両方に対応した、MEMSベースのソリッドステート流量センサーモジュール「FS1012」と「FS2012」を発表した。可動部品や空洞部を覆う隔膜を削除し、SiC（シリコンカーバイド）コーティングによる保護を採用。これにより、センサー素子の詰まりや損傷、液体への感圧性を排除し、耐衝撃性を高めた。
FS1012は、アナログ出力を搭載した未校正のスタンドアロン型流量センサーモジュール。FS2012は、同じ流量センサーの完全校正済みバージョンで、アナログからデジタルへのコンバーターを内蔵。また、温度補正回路を備え、複雑なデジタルシステムのプラグアンドプレイ使用に対応している。
供給電圧は3〜5Vで、動作温度は−40〜125℃に対応している。測定値の誤差は2％に抑えた。既に提供を開始しており、飲料ディスペンサーや点滴静注モニター、酸素モニター、マスエアフローセンサー、各種プロセス機器などのガス流量モニターでの用途を想定している。
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