低ESRで実装面積33％縮小 セイコーインスツルの音叉型水晶振動子：パターン工程を最適化

セイコーインスツルは、1.0×0.8×0.32mmサイズの音叉型水晶振動子「SC-10S」を発表した。フォトリソグラフィー技術を用いて水晶ウエハー上に微細パターンを加工する工程を最適化し、小型化と加工精度を両立した。

[EDN Japan]

　セイコーインスツルは2025年12月、32.768kHzの音叉型水晶振動子「SC-10S」を発表した。サイズは1.0×0.8×0.32mmで、「同年11月時点で世界最小サイズ」（同社）になるという。サンプル出荷は同年12月、量産は2026年4月に開始する。

音叉型水晶振動子「SC-10S」 出所：セイコーインスツル

　同製品では、フォトリソグラフィー技術を用いて水晶ウエハー上に微細パターンを加工する工程を最適化し、小型化と加工精度を両立した。同社従来品の「SC-12S」（1.2×1.0mm）と比べると、実装面積が33％縮小している。

　小型振動子ではESR上昇が課題となるが、SC-10Sでは最大90kΩの低ESRを維持。従来と同等の発振特性を確保した。

耐衝撃性や周波数安定性を強化

　衝撃や振動を受ける環境下でも、周波数変動を抑制できる設計を採用した。頂点温度は25±5℃で、負荷容量は4、6、7、9、12.5pFに対応する。動作温度範囲は−40〜＋85℃で、保存温度範囲は−55〜＋125℃だ。

　主な用途として、スマートリングやスマートウォッチ、補聴器、スマートタグ、RTC用クロック周波数源、BluetoothやLPWA向け通信モジュール、各種マイコンのサブクロックなどを見込む。