解像度0.85μm（L/S）を実現したFPD露光装置、ニコン：1500×1850mmのガラス基板に対応

ニコンは、第6世代プレートサイズに対応するFPD露光装置「FX-6ASLH」を発表した。サブミクロンとなる解像度0.85μm（L/S）を実現したことが最大の特徴だ。

[EDN Japan]

　ニコンは2026年10月26日、第6世代プレートサイズ（1500mm×1850mm）対応のFPD露光装置「FX-6ASLH」の受注を開始したと発表した。先端スマートデバイス向けの高精細有機ELおよび液晶パネル製造に適した製品で、2027年12月の市場投入を予定している。

「FX-6ASLH」の外観イメージ［クリックで拡大］ 出所：ニコン

　FX-6ASLHはUV-LED光源を搭載した新規開発の照明光学系を採用し、0.85μm（L/S）および1.0μm（C/H：コンタクトホール）の解像度を実現したという。サブミクロンの解像度を実現したのは、FPD露光装置として「世界で初めて」（ニコン）とする。ひずみが発生しやすい大型基板でも、フォーカスをリアルタイムで補正しながら均一な線幅でプレート全面に露光できる。

　さらに、マルチレンズシステムを構成する各レンズの精密制御や装置内環境の適切な管理により、重ね合わせ精度は±0.18μm以下を達成した。歩留まりの高い量産プロセスの実現に貢献するとしている。タクトタイムは39秒/プレートである。

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