荏原製作所、半導体業界向け極低温チラーを初出荷：電力・水の消費量を最大で半分に

荏原製作所は、半導体業界向けに−60℃極低温チラー「RJ-TTC型」を開発、出荷を始めた。初出荷した新製品は、従来品に比べ電力・水の消費量を最大で半減できるという。

[馬本隆綱，EDN Japan]

小型省エネポンプと省エネアルゴリズムを開発

　荏原製作所は2026年8月、半導体業界向けに−60℃極低温チラー「RJ-TTC型」を開発、出荷を始めたと発表した。初出荷した新製品は、従来品に比べ電力・水の消費量を最大で半減できるという。

　半導体デバイスの微細化や高集積化に伴い、エッチングプロセスでは高精度化や低温化、高出力化が求められている。このため、エッチング装置を一定の温度に冷却するためのチラーにおいても、消費電力や水の使用量が増える傾向にあり、課題となっていた。

　新製品は、これまで培ってきた冷熱技術とポンプ技術を組み合わせ、水の消費量と消費電力を抑えることに成功した。具体的には、冷却液循環用に「小型省エネポンプ」を開発し搭載した。また、負荷に応じてリアルタイムにチラーを最適制御する独自の省エネアルゴリズムを開発し採用した。これにより、電力・水の消費量を従来に比べ30〜50％削減できるという。

半導体業界向け−60℃極低温チラー「RJ-TTC型」の外観［クリックで拡大］ 出所：荏原製作所