導体や半導体、絶縁体も1台で 小野測器の非接触厚さ計：測定精度が向上

小野測器は、導体や半導体、絶縁体の厚さを非接触で測定できる静電容量式非接触厚さ計「CL-7100」を販売する。同社従来品と比べて測定精度が向上し、演算周期が短縮した。

[EDN Japan]

　小野測器は2025年10月、導体や半導体、絶縁体の厚さを非接触で測定できる静電容量式非接触厚さ計「CL-7100」を発表した。同年12月に発売予定で、シリコンウエハーやモーター用電磁鋼板、電気自動車（EV）バッテリー用フィルムなど、さまざまな素材の厚さ測定に対応する。

静電容量式非接触厚さ計「CL-7100」 出所：小野測器

　同社従来品「CL-5610」シリーズの後継機で、測定精度が±0.05〜0.12％FSに向上（センサーとの組み合わせによる）している。また、演算周期が従来の20ミリ秒から10ミリ秒に短縮した。多点連続測定や高速ラインに対応することで、検査時間の短縮や計測品質の向上が可能になる。

　温度センサー「PT-100」による温度測定にも対応。厚さと温度データを同時に取得することで、温度変化に伴う誤差を補正できる。オプションとして、イーサネット通信にも対応した。ネットワーク経由でのデータ収集や遠隔監視が可能だ。

筐体サイズ、質量が半減

　カラー液晶タッチパネルディスプレイを採用していて、変位や厚さ、温度など最大4項目の測定データを1画面内に表示できる。ハードキー操作にも対応し、手袋着用時の操作も可能にした。

ディスプレイイメージ 出所：小野測器

　筐体は、体積、質量ともに同社従来品比で約50％低減した。なお、導体や半導体の厚さは標準で測定可能だが、絶縁体の厚さ測定にはオプションの絶縁体計測機能「CL-0740」が必要になる。

スライドテーブル上のシリコンウエハー厚さ測定イメージ 出所：小野測器