65％低電力化、キヤノンがFPD露光装置向けLED照明：光源寿命も約20倍に

キヤノンは、第8世代ガラス基板に対応するFPD露光装置「MPAsp-H1003H」向けのLED照明オプションを発売する。新設装置向けのオプションで、従来の水銀ランプをLED光源に置き換えられる。

[EDN Japan]

　キヤノンは2026年8月、第8世代ガラス基板に対応するフラットパネルディスプレイ（FPD）露光装置「MPAsp-H1003H」向けのLED照明オプションを、同年9月上旬に発売すると発表した。新設装置向けのオプションで、従来の水銀ランプをLED光源に置き換えられる。

FPD露光装置「MPAsp-H1003H」［クリックで拡大］出所：キヤノン

　LED光源を採用し、同社指定の水銀ランプ照度仕様と比べて照度が40％以上向上する。これにより、露光工程のタクトタイムを短縮できる。従来3基を必要としていた光源ユニットも1基に集約した。

光源ユニットを3基から1基に集約［クリックで拡大］出所：キヤノン

　光源寿命は標準運用時で2万時間で、従来の1000時間から約20倍に延長した。交換頻度が減るため、光源交換に伴う装置の停止時間を短縮できる。ディスプレイ製造ラインの安定稼働を支援する。

照明ユニットの消費電力を65％以上削減

　LED化によって、照明ユニットの最大消費電力も従来の水銀ランプ使用時から65％以上低減する。露光装置全体でも10％以上の低電力化が可能となり、装置運用時のランニングコストを抑えられる。水銀ランプを使用しないため、露光装置1台当たりの水銀廃棄量を年間1.0kg以上削減できる（装置1台当たりの年間の水銀ランプ使用本数、ランプ1本に含まれる水銀量により同社が算出）

　MPAsp-H1003Hは、同社が2022年7月に発売したFPD露光装置だ。2200×2500mmの第8世代ガラス基板に対応していて、主にテレビ用ディスプレイパネルの製造に使用されている。

　同社は今後、LED照明オプションの対応機種の拡充を図る。導入済みの既設装置の光源をLEDにアップグレードする、有償サービスの提供も進める。