スループット30％向上 ニコンの先端パッケージ向け露光装置：解像度1.5μm

ニコンは、アドバンストパッケージング向けデジタル露光装置のラインアップを拡充する。解像度1.5μm（L/S）の製品を開発中で、2027年度内の発売を予定する。

[EDN Japan]

　ニコンは2026年6月、アドバンストパッケージング向けデジタル露光装置のラインアップ拡充を発表した。解像度1.5μm（L/S）の製品を開発中で、2027年度内の発売を予定する。

解像度1.0μm（L/S）のデジタル露光装置「DSP-100」 出所：ニコン

解像度1.5μm（L/S）に適した光学系

　開発中の新製品は、解像度1.5μm（L/S）に適した光学系を搭載する。2025年7月に受注を開始した「DSP-100」では、510×515mm基板におけるスループットが1時間当たり50枚に対し、新機種では65枚以上と30％以上の向上を目標としている。

　光学系の交換により、解像度1.0μm（L/S）のDSP-100としても使用できる。同社のデジタル露光装置はフォトマスクを必要としないため、コスト削減や開発、製造期間の短縮に寄与する。