コネクターと一体化 MEMS非接触赤外線温度センサー：単眼／複眼タイプを展開

ミツミ電機は、サーモパイル型のMEMS非接触赤外線温度センサー「MMS701」「MMS702」シリーズの販売を開始した。温度分解能は0.06℃以下と低く、センサーとコネクターの一体化構造を採用している。

[EDN Japan]

　ミネベアミツミグループのミツミ電機は2026年9月、サーモパイル型のMEMS非接触赤外線温度センサー「MMS701」（単眼タイプ）、「MMS702」（複眼タイプ）シリーズの販売を開始した。対象物が放射する赤外線を利用して表面温度を非接触で測定する。白物家電や美容、ヘルスケア機器、サーバなどの異常温度監視システムを主な用途に想定する。

MEMS非接触赤外線温度センサー「MMS701」「MMS702」シリーズ［クリックで拡大］出所：ミネベアミツミ

　温度分解能はいずれも0.06℃以下で、温度精度は±1.5℃。同社独自のキャリブレーション技術を用い、周囲温度の影響を補償した温度値をI²Cインタフェースから直接デジタル出力できる。これにより、複雑な演算やソフトウェア設計が不要になる。

　センサーとコネクターを一体化した構造を採用した。センサー専用基板を別途用意する必要がなく、ハーネスを介してメイン基板から離れた場所に配置できる。筐体内のスペースが限られる機器にも組み込みやすい。

−40℃対応品、8素子アレイ品などを用意

　単眼タイプのMMS701シリーズでは、低温対応の「MMS701L11A」と常温向けの「MMS701M11A」を用意する。いずれも視野角は25度。MMS701L11Aは独自の補正技術を採用し、対象物温度範囲と使用温度範囲の双方を−40〜＋80℃にした。MMS701M11Aの対象物温度範囲は−20〜＋150℃、使用温度範囲は−20〜＋100℃だ。

　複眼タイプの「MMS702M22A」では、8個の素子を1列に配置した。X方向54.5度、Y方向5.5度の視野角を有していて、X方向では50度を超える範囲を8分割して温度を取得する。1素子当たりの視野角は5.5度で、検知範囲内の温度分布を把握できる。対象物温度範囲は5〜100℃、使用温度範囲は−20〜＋100℃だ。

　消費電流はMMS701が標準3.5mA、MMS702が同5.0mA。データ更新周期はそれぞれ100ミリ秒／250ミリ秒で、電源電圧はいずれも4.5〜5.5Vだ。外形寸法はMMS701が11.6×12×8.8mm、MMS702が11.6×12×10.7mmになる。

　これらに加えて、狭視野角タイプの「MMS703」の開発も進めている。視野角はX方向9度、Y方向6.6度で、より狭い範囲での対象物を測定可能。高周波ノイズへの耐性も高めていて、電子レンジなど強い電磁波ノイズが発生する環境での使用を想定する。

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