製造工程でウエハーを「100％識別する」システム、Cognex：エッジAIのOCR技術など使用

Cognexは2026年9月、半導体製造向けの新型ウエハー／パネル識別システム「In-Sight 1750」シリーズを発表した。特殊なマルチ照明モードやエッジAI活用の読み取りエンジン、200万画素イメージセンサーなどで高い読み取りレートを実現する。

[杉山康介，EDN Japan]

マルチ照明モードで高い読み取りレート実現

In-Sight 1750［クリックで拡大］出所：Cognex

　Cognexは2026年9月、半導体製造向けの新型ウエハー／パネル識別システム「In-Sight 1750」シリーズを発表した。

　半導体製造においては、工程全体を通してウエハーを正確に追跡することが重要だ。In-Sight 1750は劣化したマークや読み取りが難しい基板上の表示などを確実に読み取り、「100％のトレーサビリティーを確保する」（同社）という。

　特殊なマルチ照明モードによって、明視野／暗視野の鮮明な画像を生成し、高難易度な基板でも高い読み取りレートを実現する。ウエハーIDの読み取りには、同社の読み取りアルゴリズムとエッジAIによる光学式文字認識（OCR）技術を組み合わせた読み取りエンジンを使用。200万画素イメージセンサー、38mmワイド視野とあわせて、加工工程で劣化したIDマークも識別可能だとする。

劣化したIDマークも識別［クリックで拡大］出所：Cognex

　シリーズのうちIn-Sight 1751はR＋RGB照明を搭載し、41フレーム/秒の画像読み取り速度を実現する。強化されたRGB照明によって、シリコン（Si）や窒化ガリウム（GaN）、炭化ケイ素（SiC）、サファイア、ガラスなど、一般的な照明設定では混乱を招きやすい基板のコントラストを向上できる。In-Sight 1752は赤外線照明を搭載し、17フレーム/秒の画像読み取り速度を実現する。

　通信用にはEthernetポートを1系統装備し、10/100/1000 Base-T、TCP／IPプロトコルDHCP、固定およびリンクローカルIPアドレス設定をサポートする。サイズは36.5×125.7×70mmで、動作温度は0〜＋45℃。新規／既存の生産ラインに簡単に追加可能で、前世代品「In-Sight 1740」と形状／取り付けポイントが同じほか、既存ジョブを変換できるため置き換えの時間やコストを削減できる。