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最高175℃に対応、TDKのMWD向けMEMS加速度センサー：過酷な掘削環境下で精密測定

TDKのMEMS加速度センサー「AXO315T1」は、石油、ガス掘削などの高温環境における坑内測定に対応。高い振動耐性と低ノイズ性能を備え高精度の傾斜測定を実現する。

» 2026年03月09日 12時30分公開

[EDN]

　TDKのTronics AXO315T1 MEMS加速度センサーは、石油／ガス井戸の掘削などの過酷な環境における測定用途向けに設計したものだ。入力レンジは±14gで、175°Cまでの温度にさらされる掘削時測定（MWD）向けに、24ビットのデジタルSPIインタフェースを備えている。

[クリックで拡大] 出所：TDK

　独自のクローズドループアーキテクチャを採用していて、この単軸デバイスは従来のオープンループMEMS加速度センサーと比較して振動除去性能を10倍向上している。振動除去性能は20μg/g²、ノイズ密度は10μg/√Hzで、温度範囲－30～＋175℃におけるバイアス残留誤差は1.7mgだ。

　AXO315T1は、方向性掘削ツールにおける傾斜測定用途向けに、石英加速度センサーの代替となる低コストのデジタルかつ低SWaP（サイズ、重量、消費電力）ソリューションを提供する。175°Cで1000時間を超える動作に対応していて、気密封止したセラミック製の表面実装パッケージに収めている。

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