低周波のインピーダンス測定例とLCRメーターの校正：LCRメーターの基礎知識（3）（1/4 ページ）

[TechEyesOnline]

　本記事は、計測器専門の情報サイト「TechEyesOnline」から転載しています。

　今回は低周波のインピーダンス測定を行う事例について、LCRメーターを使う場合とロックインアンプや周波数特性分析器などを使う場合に分けて解説する。

LCRメーターを使っての測定例

コンデンサーやインダクターの量産ラインでの利用

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　電子機器に組み込まれるコンデンサーやインダクターは非常に多くの個数が生産されている。これらの部品の生産現場ではLCRメーターが部品の良否判定やBIN判定のために数多く使われている。生産ラインでは検査スピードへの要求が高いため、LCRメーターと選別機コントローラの間は専用の制御線でつながれている。

図1：電子部品の生産ラインで使われるLCRメーターと選別機コントローラの接続

　チップ部品とLCRメーターとの接続は低周波での検査の場合は4端子で接続されることが多い、高速で動作するピンプローブによってチップ部品が接続されるが、正しく接続されているかをコンタクトチェック機能によって確認する。下記にはチップコンデンサーのコンタクトチェックの動作を示す。

図2：チップコンデンサーのコンタクトチェックの動作

　また測定値のバラツキを小さくすると歩留まりの向上に貢献するため、LCRメーターには安定した測定が要求される。

【ミニ解説】BIN判定

　バラツキのある現象を範囲ごとに発生頻度を分類すればヒストグラムが描けてバラツキの特性を知れることはよく知られている。現象を分類する幅をBIN（ビン）幅もしくは階級幅という。BIN幅を変えれば同じ現象でもヒストグラムの見え方は変わってくる。

図3：BIN幅を変えた時のヒストグラムの見え方の違い 出典：度数分布表とヒストグラム（高校物理の備忘録のホームページ）

　LCRメーターにはBIN判定という機能がある。これは試料である電子部品の選別を行う際に必要な機能である。電子部品を生産すると特性にバラツキが生じる。このため選別して必要な特性の範囲の部品を得る作業が発生する。

　LCRメーターでは1つの測定パラメーターについてBIN判定も行えるが、同時に2つの測定パラメーターで選別することもできるようになっている。

図4：2つの測定パラメーターでBIN判定を行う場合の例

　BIN判定された結果はLCRメーターのハンドラインタフェースから電気信号として出力される仕組みとなっている。