プロセスエンジニアが「何でも屋」と呼ばれる理由を、現場の1日から解き明かす：プロセスエンジニアの現場から（3） 半導体プロセスエンジニアの仕事内容（1）（3/3 ページ）

[鳥海五歩，EDN Japan]

現場で起こる3大トラブル　どう対応する？

　プロセスエンジニアの業務のなかでも、特に時間と神経を使うのがトラブル対応です。原因の特定方法や連携すべき相手は、トラブルの種類によって異なります。代表的な3つのケースを取り上げ、現場での対応方法を紹介します。

【歩留まり低下時】データ比較で原因工程を絞り込む

　歩留まりが低下した際は、まず過去の正常なデータと現在のデータを比較し、異常が発生した可能性のある工程を洗い出します。複数の工程が影響している場合も多いため、一つ一つ条件を照らし合わせながら原因を絞り込んでいきます。

　原因が判明するまでに時間を要するケースも珍しくありません。経験上、最初に立てた仮説が外れるケースも少なくありません。

　だからこそ、先入観にとらわれず、データを一つずつ確認しながら順序立てて原因を追っていく姿勢が求められます。

【異常解析時】仮説と検証を繰り返して原因を特定する

　異常が見つかったら、まず原因について仮説を立てます。そのうえで、実際のデータや現物を確認しながら検証を進めます。想定した結果が得られなければ、新たな仮説を立てて再度検証します。ここでは、論理的に筋道を立てて考える力が試されます。原因を突き止められたときには、大きな達成感を得られます。一つの仮説だけに固執せず、柔軟に視点を切り替える姿勢も欠かせません。

　地道な検証を粘り強く続けられるかどうかが、経験の差が出やすい業務です。

【装置不良時】設備担当や装置メーカーと連携して復旧を目指す

　製造装置に不具合が発生した場合は、設備担当と連携しながら原因を切り分けます。必要に応じて装置メーカーの支援も受け、早期復旧を目指します。

　生産が止まっている間は損失が発生し続けるため、復旧を待つだけではなく、他の装置へ振り替えられないかも並行して検討します。設備担当や製造部門、装置メーカーとの連携が欠かせません。

　生産への影響が大きいほど、復旧スピードと原因究明の両立が求められます。冷静な判断力と周囲を巻き込む力が同時に試される場面です。

まとめ

　半導体プロセスエンジニアは、自分の担当工程だけでなく、工程全体を俯瞰しながらトラブル対応や歩留まり改善を進める仕事です。所属する会社やキャリアステージによって、担当する役割は変わります。

　一方で、改善の成果が数字として表れ、自分の仕事が工場へ与えた影響を実感しやすい点は共通しています。製造業で培った経験も、半導体業界で十分に生かせます。

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著者プロフィール

鳥海五歩（とりうみ・ごほ）

千葉県生まれ。木更津工業高等専門学校電子制御工学科卒業。国内半導体メーカーにて立ち上げ・導入支援業務を経験後、国内大手半導体メーカーにて17年間、量産工場のフォトリソグラフィ工程に従事。生産技術、歩留まり改善、量産立ち上げなどを担当し、半導体業界で20年以上の経験を有する。