10fAの測定感度を実現したPXI対応のSMU：日本NI NI PXIe-4135

日本ナショナルインスツルメンツは2016年7月、測定感度が10fA、電圧出力が最大200VのSMU「NI PXIe-4135」を発表した。微小な電流信号の測定が可能とともに、PXIに対応。ICのウエハーに対するパラメトリックテスト、微小電流センサーなどの材料研究や特性評価に向くという。

[庄司智昭，EDN Japan]

10fAの測定感度、電圧出力が最大200V

　日本ナショナルインスツルメンツ（日本NI）は2016年7月、測定感度が10fA、電圧出力が最大200VのSMU「NI PXIe-4135」を発表した。NI PXIe-4135は、微小な電流信号の測定が可能であるとともに、PXI（PCI Extensions for Instrumentation）に対応。高いチャンネル密度やスループット、柔軟性を持ち合わせているという。

　PXI対応のモジュール式SMUは、複数の計測を同時に並列で実行できる多チャンネルシステムを小型の筐体で実現可能。1台のPXIシャシーには、最大68チャンネルのSMUを収容できる。複数のPXIシャシーを連結することで、数百チャンネルまで拡張することも可能だ。これにより、ウエハーを対象とした信頼性試験や並列テストに対応できる。

　また、デジタル閉ループ制御に基づいて、特定のデバイスに対してSMUの応答を最適化できる技術を搭載。同技術は、ソフトウェアを介して制御できるため、SMUの整定時間の低減やオーバーシュートや発振の抑制を柔軟に実行できる。

10fAの測定感度を実現したPXI対応のSMU「NI PXIe-4135」 （クリックで拡大） 出典：日本NI

　NI PXIe-4135のドライバーでは、コード開発に役立つヘルプファイルや、ドキュメント、そのまま実行できるサンプルプログラムを用意。システム開発ソフトウェア「LabVIEW」を始め、さまざまな開発環境に対応するインタフェースも提供する。

　日本NIはリリース上で、「ICのウエハーに対するパラメトリックテスト、微小電流センサーやICの材料研究や特性評価などのアプリケーションに適する」と語る。