TSMC「3nm」世代の現在地：EE Exclusive（1/2 ページ）

2022年12月に、3nmプロセスノードでの製造を開始したTSMC。3nmにまつわるTSMCの動向や事業規模についてまとめた。

[Majeed Ahmad，EDN]

　この記事は、2023年3月17日発行の「EE Times Japan×EDN Japan 統合電子版3月号」に掲載している記事を転載したものです。

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量産が始まったTSMCの3nm世代プロセス

　2022年後半に3nmプロセスノードをスタートさせると宣言したTSMCは、同年12月29日にSouthern Taiwan Science Park（STSP）内に拡張した工場で、同ノードのテープカットを行い、ようやく成功にこぎつけた。Samsung Electronics（以下、Samsung）がGAA（Gate-All-Around）を適用した3nm世代でチップ製造を開始して約半年後、TSMCは、試行錯誤を重ねたFinFETアーキテクチャに基づく5nmから3nmへのフルノード移行に成功した。