12インチウエハー対応ハイブリッドプレーサー、ヤマハ：大型基板の搬送にも対応

ヤマハ発動機は、マウンターとダイボンダーの機能を併せ持つハイブリッドプレーサー「YRH10W」を販売開始する。対応ウエハーサイズを12インチに拡張したほか、大型基板の搬送にも対応した。

[EDN Japan]

ハイブリッドプレーサー「YRH10W」 出所：ヤマハ発動機

　ヤマハ発動機は2026年1月、マウンターとダイボンダーの機能をあわせ持つハイブリッドプレーサー「YRH10W」を発表した。既存モデル「YRH10」をベースに設計したもので、対応ウエハーサイズを12インチまで拡張するとともに、大型基板の搬送に対応している。同年3月1日の販売開始を予定する。

　同製品は、ウエハー供給からのベアチップ搭載速度が1万4000チップ/時、搭載精度が±15μmになる。基板の高さや反りを計測する「搭載高さ補正」や「荷重制御」といった機能を備えていて、再現性の高い実装品質に寄与する。部品認識画像を保存する「All Image Tracer」機能も搭載。実装不良や吸着エラーの要因の早期特定が可能だ。

ウエハー部品の条件を視覚的に設定可能

　6、8、12インチのマルチダイ実装が可能。高剛性コンベアーを採用し、最大510×460×20mmの基板を搬送できるため、大型キャリア上に多数の基板個片を配置するモジュール実装にも対応する。「はんだペースト転写ユニット」や「フィデューシャルカメラZ軸可変機能」などの機能により、さまざまな生産プロセスに適用できる。

　操作面では、YRH10と同様にウエハー部品の条件を視覚的に設定できるユーティリティーを備えた。搭載順序の最適化やサイクルタイム推定などの支援機能も用意していて、装置性能を引き出しやすい構成となっている。

　外形寸法は1374×2602×1849mmで、本体質量は約2635kg。0.8〜20.0mmの基板厚を対象とする。電源は三相AC200〜416Vに対応していて、供給エア源は0.45MPa以上を必要とする。