±5cmの精度！ 低消費電力の小型MEMS気圧センサー：インフィニオン DPS310

インフィニオン テクノロジーズ（Infineon Technologies）は、モバイル/ウェアラブル製品やIoT機器の用途に対応した小型MEMS（微小電子機械システム）気圧センサーの提供を開始した。±5cmという超高分解能で高さを正確に測定できる。

[EDN Japan]

　インフィニオン テクノロジーズ（Infineon Technologies）は2015年2月26日、±5cmという超高分解能で測定できる小型MEMS（微小電子機械システム）気圧センサー「DPS310」の提供を開始した。

　DPS310は、モバイル/ウェアラブル製品やIoT（Internet of Things）機器の用途に対応。広い温度範囲で、正確かつ安定したパフォーマンスを発揮するという。

「DPS310」のイメージ

±5cmでの高さを正確に測定

　大半のデジタル気圧センサーで使用される圧電式ではなく、MEMS技術を用いた容量性検知方式を採用。温度が急に変化した場合でも、広い温度範囲で高精度に計測できる。また、高精度モードで使用した場合、±5cmでの高さを正確に測定できるため、屋内ナビゲーション最大の課題である過渡状態の正確な検知が可能になった。

　同社の車載用センサー向けに開発された半導体プロセスを利用することで、2.0×2.5×1.0mmとデバイスを小型化。低消費電力化も進め、低消費電力モードの場合、消費電流は1回の測定で1秒当たり3μA、待機モードでは1μAを下回るという。最新32回分の測定内容を記録するFIFOを内蔵し、センサーの読み出し間に、ホストプロセッサがスリープモードでいられる時間が長くなり、システム全体の消費電力を削減できる。

　圧力範囲は300〜1200hPaで、温度範囲は−40〜85℃となる。複数の測定モードと分解能により、対象のアプリケーションに合わせたデバイスの最適化が可能だ。また、各センサーは個別にキャリブレーションでき、オンボードのキャリブレーション係数により、気圧・温度の測定値について高精度に補正できる。センサーの測定データとキャリブレーション係数は、センサーのI²C/SPIデジタルインタフェースを通じて提供される。

　2015年5月にエンジニアリングサンプルの提供、同年第3四半期に量産出荷の開始を予定している。