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車載、IoT機器用の小型MEMS圧力センサーダイ：TDK C33、C39シリーズ

TDKは、±0.35％の長期精度安定性を備えた小型MEMS圧力センサーダイを発表した。1×1×0.4mmの「C33」シリーズと0.65×0.65×0.24mmの「C39」シリーズの2種で、車載機器やIoT（モノのインターネット）機器、民生機器に適している。

» 2017年11月07日 09時00分公開

[EDN Japan]

±0.35％（FS）の長期精度安定性

　TDKは2017年10月、±0.35％の長期精度安定性を備えた、小型MEMS圧力センサーダイを発表した。1×1×0.4mmの「C33」シリーズと0.65×0.65×0.24mmの「C39」シリーズの2種で、C33は車載機器、C39はIoT（モノのインターネット）機器および民生機器に適している。

MEMS圧力センサーダイ「C33」「C39」シリーズ

　C33は車載向け電子部品規格「AEC-Q101」に準拠し、絶対圧力1.2～10bar用に設計されている。標準動作電圧は3Vで、感度は使用する圧力タイプ別に15～80mV/bar（5V供給時）。－40～135℃の温度範囲に対応し、短時間なら140℃での使用も可能だ。

　C39は厚さ0.24mmと薄型のため、スマートフォンやウェアラブルデバイスなど、スペースに限りのある機器に向く。絶対圧力1.2bar用に設計され、標準動作電圧は3V。

　両シリーズとも、ピエゾ抵抗の原理に基づいてホイートストンブリッジを組み、加えられた圧力をアナログ電圧信号として出力する。

パッケージ化したMEMSマイク、S/N比は70dB
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