10μm未満の高精度測定を実現、高外部磁場耐性のリニア型TMR位置センサー：インフィニオン XENSIV TLI5590-A6W

インフィニオン テクノロジーズ は、高外部磁場耐性のリニア型TMR位置センサー「XENSIV TLI5590-A6W」を発表した。リニアまたは環状の磁気エンコーダーの使用により、10μm未満の高精度で精密測定できる。

[EDN Japan]

　インフィニオン テクノロジーズ は2024年1月、高外部磁場耐性のリニア型TMR（トンネル磁気抵抗）位置センサー「XENSIV TLI5590-A6W」を発表した。既に受注を開始している。

TMR磁気位置センサー「XENSIV TLI5590」 出所：インフィニオン テクノロジー

　量産ボリュームの多いセンシングシステム向けに開発され、超高感度、低ジッタ、低消費電力を特徴とする。直線の位置検知に優れており、急激に変化する方向も正確に検出できる。差動レシオメトリック出力の高精度な距離測定センサーを2チャンネル備える。

　TMR抵抗値が外部磁場の方向と強さで決まる、2つのTMRホイートストンブリッジで構成されており、各ブリッジは多極電磁石との組み合わせで差動出力信号を出力する。これらをさらに処理することで、相対位置を測定できる。

10μm未満の高精度で精密測定

　リニア動作や環状の磁気エンコーダーを使用し、10μm未満の高精度な測定に対応する。±5mTの磁気入力範囲全体に対して、チャンネル間マッチングを5％以下とした。−40〜＋125℃の温度範囲で動作し、温度安定性が高く、過酷な環境下でも使用できる。

　パッケージは、小型6ボールウエハーレベルのSG-WFWLB-6-3を採用。JEDEC規格のJESD47Kに準拠し、産業用、民生用向けに認定され、光学式エンコーダーやレゾルバーの代替品として使用できる。カメラのズームやフォーカス調整用のレンズ位置モニターなどの用途に適している。