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» 2023年11月22日 09時00分 公開

UV分光に最適化したミニ分光器マイクロシリーズを開発浜松ホトニクス C16767MA

浜松ホトニクスは、ミニ分光器マイクロシリーズ「C16767MA」を開発した。イメージセンサーの構造を改善してUV耐性を高めたほか、UVの分光に最適化すべく、回折格子の形状を改善している。

[EDN Japan]

 浜松ホトニクスは2023年11月、ミニ分光器マイクロシリーズ「C16767MA」を発表した。同月より、環境計測装置メーカーからのサンプル受注を開始する。価格は5万4700円(税込)で、初年度2000個、2026年度には1万個の販売目標を掲げる。

ミニ分光器マイクロシリーズ「C16767MA」 ミニ分光器マイクロシリーズ「C16767MA」 出所:浜松ホトニクス

 同シリーズは、同社が有するMEMS(微小電気機械システム)技術や光半導体素子の製造技術を応用している。イメージセンサーの構造を改善してUV耐性を高めたほか、UVの分光に最適化すべく、回折格子の形状を改善した。

 溝の間隔を約500nmに短縮し、分解能を高めた。また、UVの分光時に発生する迷光がイメージセンサーに入射するのを抑えるため、窒化シリコンの薄膜をイメージセンサー上に形成した。

 サイズは20.1×12.5×10.1mmで、質量は5g。波長分解能は5.5nm(Typ.)となっている。

水中の汚染物質の含有量を複数種類検査可能

 190nm〜440nmの光を複数の波長に分けることで、それぞれの光の強さを同時に測定できる。例えば、同製品を組み込んだ水質検査装置を河川や海、湖などに置くことで、水中の汚染物質の含有量を複数種類検査できる。

「C16767MA」による測定例と比較結果 「C16767MA」による測定例と比較結果

 安価な水質検査装置の構築も可能で、多数の測定現場に設置して水質をモニタリングすることで、より広い範囲で水質評価の精度向上が期待される。

「C16767MA」を組み込んだ水質検査装置の応用例 「C16767MA」を組み込んだ水質検査装置の応用例 出所:浜松ホトニクス

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