UV分光に最適化したミニ分光器マイクロシリーズを開発：浜松ホトニクス C16767MA

浜松ホトニクスは、ミニ分光器マイクロシリーズ「C16767MA」を開発した。イメージセンサーの構造を改善してUV耐性を高めたほか、UVの分光に最適化すべく、回折格子の形状を改善している。

[EDN Japan]

　浜松ホトニクスは2023年11月、ミニ分光器マイクロシリーズ「C16767MA」を発表した。同月より、環境計測装置メーカーからのサンプル受注を開始する。価格は5万4700円（税込）で、初年度2000個、2026年度には1万個の販売目標を掲げる。

ミニ分光器マイクロシリーズ「C16767MA」 出所：浜松ホトニクス

　同シリーズは、同社が有するMEMS（微小電気機械システム）技術や光半導体素子の製造技術を応用している。イメージセンサーの構造を改善してUV耐性を高めたほか、UVの分光に最適化すべく、回折格子の形状を改善した。

　溝の間隔を約500nmに短縮し、分解能を高めた。また、UVの分光時に発生する迷光がイメージセンサーに入射するのを抑えるため、窒化シリコンの薄膜をイメージセンサー上に形成した。

　サイズは20.1×12.5×10.1mmで、質量は5g。波長分解能は5.5nm（Typ.）となっている。

水中の汚染物質の含有量を複数種類検査可能

　190nm〜440nmの光を複数の波長に分けることで、それぞれの光の強さを同時に測定できる。例えば、同製品を組み込んだ水質検査装置を河川や海、湖などに置くことで、水中の汚染物質の含有量を複数種類検査できる。

「C16767MA」による測定例と比較結果

　安価な水質検査装置の構築も可能で、多数の測定現場に設置して水質をモニタリングすることで、より広い範囲で水質評価の精度向上が期待される。

「C16767MA」を組み込んだ水質検査装置の応用例 出所：浜松ホトニクス