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赤、緑、青の可視光マイクロLEDチップを開発：ナイトライド・セミコンダクター INGaNマイクロチップ

ナイトライド・セミコンダクターは、赤、緑、青の3種のINGaNマイクロLEDチップの量産技術を開発した。これら3色にUVを加えた4種の波長のマイクロLEDチップについて、お試しキットを販売する。

» 2022年11月14日 09時30分公開

[EDN Japan]

　ナイトライド・セミコンダクターは2022年10月、赤、緑、青の3種のINGaN（インジウム窒化ガリウム）マイクロチップの量産技術を開発したと発表した。これら3色にUVを加えた4種の波長のマイクロLEDチップについて、お試しキットを販売する。

　これまで赤のマイクロLEDチップには、GaAs（ガリウムヒ素）やGaP（ガリウム燐）が用いられてきたが、脆弱（ぜいじゃく）で屈折率が高く、光取り出し効率が低い点が高効率化やマイクロチップ化への障壁となっていた。同社は、青色LEDの材料とされるInGaNを赤色LEDにも採用することで、マイクロLEDチップの量産技術を確立した。

1ブロックに約200万個のチップを搭載

　お試しキットは、InGaN系LEDで波長620nmの赤色LED、波長510nmの緑色LED、波長450nmの青色LEDの3種のウエハーから切り出したブロック3枚、波長385nmUV LEDのブロック1枚、合計4枚を1セットとする。

　1ブロックのサイズは17×13mmで、サファイア基板を用いている。マイクロチップは、最小サイズ12×24μm（赤は24×48μm）から288×288μmまで、合計9種を取りそろえた。1ブロックあたりの搭載チップは、合計で約200万個となっている。

　生産能力は4インチウエハーで月に1500枚。お試しキットの価格は1セット7000米ドルあるいは100万円となっている。

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